MEMS & Cleanroom: Des couches minces de matériaux et la création de vapeur

Traitement mince-fiilm

Explore les techniques de traitement des films minces, y compris les interactions CVD, ALD et plasma, en mettant l'accent sur leurs avantages et leurs applications.

Dépôt : Techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD)

Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour le dépôt de couches minces en nanofabrication, en abordant des problèmes tels que la diffusion du métal et le contact approprié du métal.

PVD 7: Autres techniques

Explore les techniques de placage ionique, de MBE et de PLD dans la fabrication de films minces.

Dépôt de vapeur physique: bases et applications

Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.

Croissance du film: modes de croissance et structure cristalline

Explore les modes de croissance dans la croissance des films et la détermination de la structure cristalline en fonction des matériaux utilisés.