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Séance de cours
MEMS & Cleanroom: Des couches minces de matériaux et la création de vapeur
Description
Cette séance de cours couvre les bases de la technologie MEMS et Cleanroom, y compris le processus d'oxydation thermique pour créer des couches SiO2, la création de vapeur pour PVD à l'aide d'une chambre à vide, et les principes de dépôt de vapeur physique et de pulvérisation pour la formation de films.
Source officielle
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