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Séance de cours
Flux de gaz et amortissement dans les MEMS
Description
Cette séance de cours couvre le nombre de Knudsen et ses implications sur les flux de gaz, du continuum aux régimes moléculaires, ainsi que les variations des facteurs de qualité dans différents régimes de pression dues à l'amortissement des gaz. Il traite également de l'amortissement du film étirable, de l'amortissement latéral et du concept de pompe Knudsen à plusieurs étages.
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