Électrostatique dans MEMS: Élargissement des lois et des applications

Cette séance de cours couvre les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans les systèmes microélectromécaniques (MEMS). Les sujets abordés comprennent les condensateurs à plaques parallèles, les actionneurs, les actionneurs à fermeture éclair, les entraînements à peigne, la détection de la capacité, les fluctuations de tension et la détection de capacité dans MEMS. La séance de cours examine également les défis et les solutions dans la conception des appareils électrostatiques, tels que les phénomènes de traction, les constantes de ressort efficaces, et l'influence des champs électriques. Différents exemples d'actionneurs électrostatiques, tels que les microrelais, les grilles thonières et les gyroscopes MEMS, sont présentés pour illustrer les applications pratiques de l'électrostatique dans la technologie MEMS.