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Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.
Explore le traitement de films et de revêtements minces à l'aide de techniques sol-gel, de dépôts en phase vapeur, de techniques de pulvérisation et de méthodes de pulvérisation thermique.
Explore divers processus de dépôt chimique en phase vapeur, notamment APCVD, SACVD, LPCVD, UHV / CVD, PECVD et MOCVD, en se concentrant sur la croissance du film et les effets plasmatiques.
Couvre la gravure humide des couches sacrificielles en micro et nanofabrication, y compris les défis et les solutions pour la déformation de la microstructure et le diagnostic de stress.
Explore les méthodes de fabrication de nanoparticules, les défis de la production de nanotubes et de nanofils de carbone et la comparaison des approches ascendantes et descendantes.
Explore la fabrication de dépôts de faisceaux d'électrons et les procédés de dépôt direct de métaux, en soulignant leur équipement, leurs avantages et leurs limites.
Couvre le processus de conception et de fabrication des lignes micro-ondes imprimées et discute de leurs avantages, inconvénients, substrats et processus de fabrication.