Séance de cours

Nanofabrication: Techniques et défis

Description

Cette séance de cours couvre les bases de la nanofabrication, y compris les approches descendantes et ascendantes, le dépôt, l'implantation, la gravure, la lithographie et les défis rencontrés en raison de la diversité des techniques et des milieux. L'instructeur discute également de l'utilisation de plaquettes de silicium, de la méthode Czochralski et de la tendance à l'augmentation du diamètre des plaquettes.

À propos de ce résultat
Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.