Séance de cours
Nanofabrication: Techniques et défis
Description
Cette séance de cours couvre les bases de la nanofabrication, y compris les approches descendantes et ascendantes, le dépôt, l'implantation, la gravure, la lithographie et les défis rencontrés en raison de la diversité des techniques et des milieux. L'instructeur discute également de l'utilisation de plaquettes de silicium, de la méthode Czochralski et de la tendance à l'augmentation du diamètre des plaquettes.
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