Lithographie par sonde à balayage: applications à l'échelle nanométrique
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Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.
Explore les principes fondamentaux et les applications de la microscopie à sonde à balayage, y compris la configuration STM, la reconstruction de surface, le tunnel quantique et la microscopie à force de balayage.
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Explore l'impression de nanoparticules simples, le piégeage électrotopographique et les applications basées sur les nanoparticules dans l'assemblage micro/nanosystème.
Explore les techniques de lithographie avancées, les étapes de simulation pour la conception du circuit, et l'impact des variations d'horloge sur les performances du circuit.
