Lithographie : Fabrication étendue

Cette séance de cours couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, y compris les défis de revêtement tels que l'adhérence et l'uniformité, les processus de cuisson au four, les considérations d'exposition telles que la réflectance et la longueur d'onde de la lumière, les problèmes de développement tels que les dommages au substrat, les limites de résolution et les techniques de lithographie par immersion.