Séance de cours
Lithographie: Technologies de microfabrication
Description
Cette séance de cours couvre les fondamentaux de la lithographie dans les technologies de microfabrication, y compris le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus de lithographie, la création de masques photographiques et les limitations imposées par la diffraction. Il examine également les étapes de la lithographie pour la création de micro/nanodevices, les techniques d'alignement, les méthodes de revêtement de résistance et les concepts généraux en lithographie.
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