Séance de cours
Nanomanufacturation avancée : Lithographie et auto-assemblage
Description
Cette séance de cours porte sur des sujets avancés dans la micro- et la nanoproduction, en mettant l'accent sur les techniques de lithographie comme la lithographie par faisceaux d'électrons et la fabrication ciblée de faisceaux d'ions. Il explore également l'auto-assemblage des copolymères de blocs pour le patronage à l'échelle nanométrique, en discutant de la séparation de phase, des couches de neutralisation et des méthodes d'auto-assemblage dirigées. La synergie entre les approches de fabrication descendante et ascendante est mise en évidence, en mettant l'accent sur le potentiel de fabrication d'appareils à haute résolution.
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