Lithographie: Nanoscale Patterning Techniques

Cette séance de cours couvre les concepts fondamentaux de la lithographie, une étape cruciale dans la microfabrication, permettant la structuration de surfaces à l'échelle nanométrique à l'aide de photons ou d'électrons. Il explore l'histoire de la technologie des semi-conducteurs, des débuts des circuits intégrés aux défis et tendances actuels des méthodes de nanofabrication. La séance de cours explore le flux du processus de lithographie, les méthodes d'exposition, les techniques d'amélioration de la résolution et l'importance de la profondeur de mise au point en photolithographie. Il aborde également des technologies telles que la lithographie par immersion, la correction de proximité optique et les masques de décalage de phase, soulignant leur rôle dans la réalisation de modèles à haute résolution pour une production rentable.