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Séance de cours
Stencil Lithographie: Nanometer Scale Patterning
Description
Cette séance de cours présente la lithographie au pochoir comme un processus en une seule étape et sans résistance pour la structuration directe à haute résolution à l'échelle nanométrique. Il couvre les avantages par rapport à la lithographie conventionnelle, tels que l'absence de contact, de résine photosensible et de processus à haute température. Les exemples incluent le dépôt de divers métaux et des défis tels que la stabilité et l'alignement des membranes.
Source officielle
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