Séance de cours
Stencil Lithographie: Nanometer Scale Patterning
Description
Cette séance de cours présente la lithographie au pochoir comme un processus en une seule étape et sans résistance pour la structuration directe à haute résolution à l'échelle nanométrique. Il couvre les avantages par rapport à la lithographie conventionnelle, tels que l'absence de contact, de résine photosensible et de processus à haute température. Les exemples incluent le dépôt de divers métaux et des défis tels que la stabilité et l'alignement des membranes.
Source officielle
À propos de ce résultat
Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.