Stencil Lithographie: Nanometer Scale Patterning

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Description

Cette séance de cours présente la lithographie au pochoir comme un processus en une seule étape et sans résistance pour la structuration directe à haute résolution à l'échelle nanométrique. Il couvre les avantages par rapport à la lithographie conventionnelle, tels que l'absence de contact, de résine photosensible et de processus à haute température. Les exemples incluent le dépôt de divers métaux et des défis tels que la stabilité et l'alignement des membranes.

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Séances de cours associées (32)

Concepts associés (19)

Dépôt chimique en phase vapeur

vignette|Schéma d'un CVD Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. La CVD est un procédé utilisé pour produire des matériaux solides de haute performance, et de grande pureté. Ce procédé est souvent utilisé dans l'industrie du semi-conducteur pour produire des couches minces. Dans un procédé CVD typique, le substrat est exposé à un ou plusieurs précurseurs en phase gazeuse, qui réagissent et/ou se décomposent à la surface du substrat pour générer le dépôt désiré.

Évaporation sous vide

Lévaporation sous vide est une technique de dépôt de couche mince (généralement métallique), utilisée notamment dans la fabrication micro-électronique. Le matériau à déposer est évaporé sous vide dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide. L'évaporation sous vide repose sur deux processus élémentaires : l'évaporation d'une source chauffée et la condensation à l’état solide de la matière évaporée sur le substrat.

Nano

Nano (symbol n) is a unit prefix meaning one billionth. Used primarily with the metric system, this prefix denotes a factor of 10−9 or 0.000 000 001. It is frequently encountered in science and electronics for prefixing units of time and length. Examples Three gold atoms lined up are about one nanometer (nm) long. If a toy marble were scaled down to one nanometer wide, Earth would scale to about wide. One nanosecond (ns) is about the time required for light to travel 30 cm in air, or 20 cm in an optical fiber.

Design pattern

A design pattern is the re-usable form of a solution to a design problem. The idea was introduced by the architect Christopher Alexander and has been adapted for various other disciplines, particularly software engineering. An organized collection of design patterns that relate to a particular field is called a pattern language. This language gives a common terminology for discussing the situations designers are faced with. The elements of this language are entities called patterns.

Patron de conception

En informatique, et plus particulièrement en développement logiciel, un patron de conception (souvent appelé design pattern) est un arrangement caractéristique de modules, reconnu comme bonne pratique en réponse à un problème de conception d'un logiciel. Il décrit une solution standard, utilisable dans la conception de différents logiciels. Un patron de conception est issu de l'expérience des concepteurs de logiciels. Il décrit un arrangement récurrent de rôles et d'actions joués par des modules d'un logiciel, et le nom du patron sert de vocabulaire commun entre le concepteur et le programmeur.