Systèmes MEMS et NEMS

Cette séance de cours porte sur les modèles physiques pour les microsystèmes et nanosystèmes, en mettant l'accent sur les dispositifs MEMS et NEMS. Il traite des éléments MEMS/NEMS les plus simples, des exemples d'appareils et des résonateurs RF pour la détection des mouvements. L'instructeur explique les objectifs des systèmes MEMS/NEMS, tels que la détection de force et la spectrométrie de masse. La séance de cours se penche également sur la détection de masse sensible à l'aide de nanotubes, d'actionnement électrostatique et de thonabilité dans les systèmes à base de nanotubes. De plus, il explore la chiralité des nanotubes, les oscillateurs torsionnels avec des nanotubes de carbone et les types de réponses mécaniques dans les matériaux. L'arrière-plan théorique de la mécanique, la loi de Hooke à l'échelle nanométrique et les réponses élastiques linéaires dans les matériaux isotropes sont également couverts.