Séance de cours
Nanoscale MEMS ou NEMS
Description
Cette séance de cours explore la transition des micro-appareils à l'échelle nanométrique, en mettant l'accent sur les nanoparticules, les nanofils et les nanoflakes. Il couvre l'imagerie nanométrique, la microfabrication des nanotopes, les forces capillaires, l'AFM du graphène et les capteurs et actionneurs intégrés.
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