Microscopie à l'échelle nanométrique: Techniques et applications
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Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.
Couvre les fondamentaux de la microscopie, y compris le fonctionnement de l'objectif, la création d'images et les techniques avancées comme la fluorescence et la super résolution.
Explore les défis et les solutions pour gérer la dose d'électrons en microscopie, en soulignant l'importance d'un suivi et d'une analyse précis des doses.
Introduit la microscopie électronique, couvrant l'organisation pratique, la préparation d'échantillon, l'interaction rayonnement-matière, et les mécanismes de détecteur.
Couvre les aspects généraux et les techniques de la microscopie, en mettant l'accent sur l'importance de la résolution et en explorant le tunneling de balayage et la microscopie à force atomique.
Explore la lithographie au pochoir, une technique de structuration directe à haute résolution, et ses applications sur les substrats flexibles, le stencilage dynamique et la biostructuration.
Explore les principes de la microscopie électronique à transmission par balayage (STEM), les détecteurs, les mécanismes de contraste et les applications en imagerie haute résolution.
Explore la lithographie par sonde thermique, la nanolithographie Dip-Pen, la mouillabilité de surface, la feuille de route de stockage des données et le concept Millipede.
Explore les forces, les pointes et les sondes utilisées dans la microscopie à sonde à balayage, en se concentrant sur les principes AFM, les limites de résolution des pointes et la fabrication de sondes en porte-à-faux.
Explore les principes de la microscopie électronique à balayage, les contrastes de signaux, les facteurs de résolution et les interactions d'échantillons.