Dépôt de vapeur physique: principes et applications

Cette séance de cours porte sur les principes et les applications du dépôt de vapeur physique (PVD) dans les technologies de microfabrication. Il explique le processus de création de vapeur, la création de microstructures métalliques, la loi de la cosine, le principe de pulvérisation, la pulvérisation de magnétron, l'efficacité de la pulvérisation et les outils de pulvérisation multimatériaux. L'instructeur discute des questions d'uniformité, de la technique de levage et des sujets avancés comme les matériaux composites et le dépôt laser pulsé (PLD). La séance de cours aborde également les défis de l'uniformité de l'évaporation, de la création de microstructures métalliques et de l'efficacité de la pulvérisation dans différents matériaux.