Séance de cours
Dépôt de vapeur physique: principes et applications
Séances de cours associées (34)
Oxyde conducteur transparent: pulvérisationMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les principes de pulvérisation cathodique pour l'oxyde conducteur transparent dans les cellules solaires et l'utilisation de matériaux piézoélectriques pour les capteurs et les filtres.
Films minces et cellules solaires tandem
Couvre les cellules solaires à couches minces, leurs avantages, leur statut sur le marché et les défis, y compris les cellules CdTe, CIGS et pérovskite, et explore le potentiel des cellules multijonctions.
PVD 7: Autres techniquesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de placage ionique, de MBE et de PLD dans la fabrication de films minces.
Ion Beam EtchingMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Introduit des graveurs de faisceau d'ions, combinant la pulvérisation cathodique physique avec l'activité chimique.
Micro et nanofabrication: bases et techniquesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre les bases des techniques de micro et nano fabrication pour les dispositifs MEMS.
Traitement des films minces: retrait et dépôt
Explore les techniques d'enlèvement et de dépôt de couches minces dans la technologie CMOS, couvrant la gravure humide, la gravure sèche, le polissage mécanique chimique et les méthodes de dépôt de couches minces.
Transport du gaz et taux de croissance des filmsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.
Stress en couches minces : croissance et microfabrication des filmsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Examine le stress dans les couches minces, y compris la distribution uniforme et les facteurs intrinsèques, dans le contexte de la microfabrication.
Croissance du film: modes de croissance et structure cristallineMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les modes de croissance dans la croissance des films et la détermination de la structure cristalline en fonction des matériaux utilisés.
Faisceau d'ions ciblé : principes et applications
Explore les principes et les applications de la technologie Focused Ion Beam (FIB), y compris les interactions ion-solide, l'imagerie, le broyage et le dépôt.