Faisceau d'ions ciblé : principes et applications

Cette séance de cours couvre les principes et les applications de la technologie Focused Ion Beam (FIB), y compris les interactions ion-solide, l'imagerie FIB, le broyage, le dépôt et la préparation d'échantillons TEM. Il explique les avantages de l'utilisation des ions sur les électrons, la structure des colonnes d'ions FIB, et pourquoi le gallium est couramment utilisé. La séance de cours aborde également les trois modes de fonctionnement de base de la FIB, tels que la pulvérisation, le dépôt et la gravure, ainsi que les différents effets des interactions ion-solide.