Plasma Focused Ion Beam: Applications et Techniques

Cette séance de cours couvre les principes et les applications de la technologie Plasma Focused Ion Beam (PFIB), en se concentrant sur les techniques d'imagerie et de fraisage de haute précision utilisant un système PFIB Helios G4. Les sujets abordés comprennent les composants des colonnes SEM et FIB, les systèmes d'injection de gaz, les études de propriétés électriques et les contrôles automatisés des systèmes. L'instructeur, Carsten Putzke, démontre l'utilisation de MultiGIS pour le dépôt de matériaux, EasyLift pour la manipulation d'échantillons et les études automatisées d'irradiation. La séance de cours souligne l'importance d'un positionnement précis de l'échantillon et de la maintenance du système pour des résultats optimaux.