FIB Applications: Nanofabrication et analyse des défaillances

Cette séance de cours couvre les applications de la technologie Focused Ion Beam (FIB) dans la nanofabrication et l'analyse des défaillances, y compris des sujets tels que le broyage, le rendement de pulvérisation, le dépôt assisté par gaz et la préparation d'échantillons TEM. Il explore également l'utilisation de FIB pour la fabrication d'embouts AFM, la coupe transversale d'échantillons et la création de structures nanofabriquées. L'instructeur discute des défis et des techniques impliqués dans la préparation d'échantillons TEM basés sur la FIB, en soulignant l'importance de la prévention des artefacts et du positionnement précis des lamelles pour la microscopie 3D.