Nano-ingénierie thermomécanique avec des conseils AFM

Cette séance de cours explore l'évolution de la micro-ingénierie et de la nano-ingénierie, en mettant l'accent sur l'utilisation du silicium comme matériau mécanique pour les capteurs et les transducteurs. Il s'inscrit dans les progrès des techniques de traitement du silicium et dans le développement de micro/nanosystèmes multimatériaux. La présentation porte sur la fabrication de micro/nanosystèmes de nouvelle génération, y compris des approches descendantes et ascendantes, et sur l'application de diverses méthodes douces telles que l'assemblage capillaire de nanoparticules et de capteurs de gaz à jet d'encre. La séance de cours porte également sur les principes et les applications de la microscopie de la force atomique (AFM) et de la lithographie par sonde à balayage thermique (T-SPL) en nanoingénierie, sur des exemples de nanosondes, de nanopatterning et de nanocoupure de matériaux 2D.