Focused Ion Beam: Les bases

Cette séance de cours présente les principes et les applications de la microscopie à faisceau d'ions focalisé (FIB), couvrant des sujets tels que les sources d'ions, l'optique, l'interaction d'échantillons, la préparation d'échantillons TEM et la nanotomographie FIB. Il explique les avantages de l'utilisation des ions sur les électrons, la structure de la colonne d'ions, et pourquoi le gallium est couramment utilisé. La séance de cours aborde également les différents modes de fonctionnement de la FIB, y compris l'imagerie, le fraisage, le dépôt et la gravure, ainsi que les effets des interactions ion-solide. En outre, il explore le concept de canalisation du contraste en microscopie FIB.