Cette séance de cours présente la microanalyse à rayons X à dispersion d'énergie (EDX), une technique d'analyse élémentaire basée sur la spectroscopie à rayons X. Il explique comment les rayons X sont émis d'un spécimen lorsqu'il est frappé par des particules chargées, et comment l'énergie et le nombre de rayons X émis révèlent la composition élémentaire. La séance de cours couvre la génération de rayons X, l'ionisation de la coquille centrale, les transitions interdites, l'efficacité des rayons X et le rendement de production des rayons X. Il traite également de la détection des rayons X à l'aide de détecteurs tels que Si (Li) et SDD, ainsi que de la quantification et de la cartographie des éléments à l'aide d'EDX. La séance de cours se termine par des détails sur les systèmes EDX, les méthodes de traitement et les simulations Monte-Carlo.
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