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Explique les principes de fonctionnement des capteurs capacitifs MEMS, des condensateurs différentiels, des microphones MEMS et l'impact de la technologie MEMS sur les produits de consommation.
Explore les principes de transduction électrostatique, les équations non linéaires et le couplage actionneur/capteur, avec des exemples comme les microphones électrostatiques.
Explore les principes généraux des capteurs résonants, en se concentrant sur les résonateurs piézoélectriques et leurs applications dans la détection de température et la mesure de masse.
