Scanner la lithographie de sonde: principes fondamentaux et applications

Cette séance de cours couvre les principes fondamentaux et les applications de la lithographie par sonde à balayage (SPL), en se concentrant sur la modification de la surface et la structuration à l'échelle nanométrique. Il explore les variations de SPL, y compris les méthodes mécaniques, thermiques, chimiques et électriques. L'exposition de la résine par microscopie à force atomique (AFM) et ses avantages par rapport à la lithographie par faisceau d'électrons (EBL) sont discutés. En outre, la séance de cours se penche sur des sujets tels que l'oxydation locale, la nanolithographie Dip-Pen (DPN), les distributeurs à l'échelle nanométrique et l'influence de la mouillabilité de surface sur le comportement des gouttelettes à l'échelle nanométrique.