Techniques de microfabrication: Conseils pour la nanofabrication MEMS
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Explore la conception et la fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe et sa caractérisation thermomécanique à travers des applications de courant continu et alternatif.
Explore les fondamentaux de la lithographie, les défis de la nanofabrication et les techniques de structuration avancées pour la production à haute résolution.
Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
Couvre les principes et les applications de la microscopie par sonde à balayage, y compris les principes de fonctionnement, les différents systèmes et les applications d'imagerie.
Explore les interactions pointe-échantillon dans AFM, couvrant l'hystérésis, les modes de contact et sans contact, les mécanismes de rétroaction et la résolution d'image.
Couvre le processus de gravure en utilisant des techniques humides et sèches, en expliquant les définitions, les étapes, les exemples, les défis et les solutions.
