Séance de cours
Cette séance de cours montre les étapes pratiques de la fabrication d'un masque pour la lithographie UV, en commençant par une plaque de soude commerciale revêtue de chrome et de résine photosensible. Le processus consiste à charger le masque dans un graveur laser, à effectuer un contrôle de conception, à effectuer un balayage raster avec le laser, à développer le motif de la résine, à graver le chrome et à décaper la résine non exposée.