Techniques de microfabrication: Conseils pour la nanofabrication MEMS
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AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.
Couvre les bases de la microscopie par sonde à balayage, en se concentrant sur la STM et l'AFM, en expliquant les principes, les techniques d'imagerie et les méthodes de spectroscopie.
Explore les fondamentaux de la microscopie à sonde à balayage, les types de pointes et les modes AFM pour l'imagerie et la manipulation à l'échelle nanométrique.
Explique le fonctionnement du microscope à force atomique pour l'imagerie des surfaces isolantes et discute des différences avec le microscope à force magnétique.
Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
Explore les encorbellements à détection automatique dans la microscopie par sonde à balayage et les avantages des systèmes capteurs-actionneurs intégrés pour la collecte de données à grande vitesse.
