Techniques de microfabrication: Conseils pour la nanofabrication MEMS
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AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.
Couvre la transition vers les appareils nanométriques, l'imagerie nanométrique, les forces capillaires, l'AFM du graphène et les capteurs et actionneurs intégrés.
Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.
Couvre les bases de la microscopie par sonde à balayage, en se concentrant sur la STM et l'AFM, en expliquant les principes, les techniques d'imagerie et les méthodes de spectroscopie.
Explore les principes, les applications et l'importance de la microscopie de la Force atomique dans la recherche scientifique, y compris les études de structure biologique.
