Micro-actionneur thermo-mécanique: étude de cas

Cette séance de cours couvre le processus de conception et de fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe, expliquant le concept d'actionnement thermomécanique à l'aide de films minces avec différents coefficients de dilatation thermique. Il détaille la séquence de microfabrication impliquant des étapes telles que la préparation de plaquettes, l'oxydation humide, le dépôt de Cr, la photolithographie pour la structuration des radiateurs et des poutres, la gravure au SiO2 et au silicium. La séance de cours traite également de la caractérisation thermomécanique de l'actionneur par le biais d'applications de courant continu et alternatif, mettant en évidence le pliage en porte-à-faux et le rayonnement du réchauffeur Cr à des tensions élevées.