Séance de cours
Cette séance de cours couvre les techniques de microfabrication pour l'inspection et la métrologie, y compris la fabrication d'actionneurs thermiques bi-morphiques, les principes de base FIB, l'imagerie focalisée par faisceau d'ions, l'inspection transversale locale et la mesure de la dimension Z. L'instructeur explique les processus impliqués dans ces techniques et leurs applications en micro et nanofabrication (MEMS).