Microfabrication en verre par gravure humide

Cette séance de cours couvre le processus de microfabrication de verre à l'aide d'une gravure humide à l'acide fluorhydrique. Il explique le mécanisme de gravure, l'effet de la composition de l'écharpe et du verre, et la séquence du processus de gravure. On discute de l'historique de la gravure à l'acide fluorhydrique, de la réaction globale et des constantes de gravure. La séance de cours se penche également sur les mécanismes détaillés de la gravure HF-SiO2, de la morphologie de surface et de l'impact d'additifs comme le NH4F. Différents facteurs influant sur le taux de gravure, tels que l'agitation et l'ajout de HCI, sont étudiés. La séance de cours se termine par un aperçu des effets de rugosité de surface, du recuit thermique et de l'application du verre photosensible dans la microfabrication.