Séance de cours
Cette séance de cours couvre le processus de gravure humide du verre et du silicium à l'aide de solutions à base de HF. Il explique le mécanisme de la gravure HF, l'ajout de NH4F pour améliorer la gravure et l'impact de la composition du verre sur les taux de gravure. La séance de cours détaille également les processus en salle blanche pour les gravures HF et HF (BHF) tamponnées, y compris la gravure Pyrex et la sous-gravure de masque.