Séance de cours

Techniques de gravure à sec

Description

Cette séance de cours couvre diverses techniques de gravure sèche pour des matériaux tels que la silice, le pyrex, le SiN4 et le Si, y compris les processus continus et pulsés, la gravure cryogénique et la gravure isotrope à l'aide de SF6. Il explique l'utilisation de différents matériaux de masque, compositions de gaz, pressions et vitesses de gravure, ainsi que l'importance de la sélectivité et de la qualité de surface dans la micro et la nanofabrication.

À propos de ce résultat
Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chatbot

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.