Séance de cours
Micro et nanofabrication
Description
Cette séance de cours porte sur divers sujets liés à la micro et à la nanofabrication, dont les MEMS, les processus de salle blanche, CVD, PVD, la lithographie, les techniques d'arrachage et la gravure à sec de matériaux comme le silicium et l'aluminium. Il explique les principes qui sous-tendent la gravure au plasma, la gravure anisotrope et les effets des différents gaz sur le processus de gravure. L'instructeur discute également de l'importance de la gravure sélective, de la protection des parois latérales et de l'utilisation de différents matériaux secs pour des applications spécifiques.
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