Séance de cours
Technologies de microfabrication
Description
Cette séance de cours couvre les technologies de microfabrication, y compris la lithographie, la gravure à sec, le MEMS et les processus propres. Il traite de l'exposition au contact et à la proximité, de la lithographie de projection, des techniques d'amélioration de la résolution, des masques de déplacement de phase, de la lithographie d'immersion et des similitudes entre la microscopie et la lithographie. L'instructeur présente également des exemples de profils de résistance, de la séquence de microfabrication, des interactions électro-échantillon et de la complexité de la fabrication de puces à plusieurs étapes de lithographie.
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