Micro et nanofabrication: bases et techniques

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Description

Cette séance de cours présente les bases des techniques de micro et nano fabrication, en se concentrant sur leur application dans les dispositifs MEMS. Les instructeurs expliquent les processus effectués dans un environnement de salle blanche, illustrant comment ces techniques permettent la production en série de dispositifs utilisés dans la vie quotidienne.

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Source officielle

https://mediaspace.epfl.ch/media/0_t10hth2u

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