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Cette séance de cours couvre la conception et le fonctionnement des actionneurs thermiques, en se concentrant sur les bimorphes thermiques, les fonctions de transfert thermomécaniques et divers types d'actionneurs thermiques tels que les actionneurs horizontaux, en forme de U et en V. Il traite également de la densité d'énergie dans les actionneurs thermomécaniques, le mélange thermique à haute fréquence et les commutateurs de guide d'onde avec un mécanisme de verrouillage. La présentation comprend des exemples de bimorphes de SiO2Cr, d'actionneurs thermiques hors plan et de la réponse dynamique des actionneurs thermiques bimorphes. L'instructeur met l'accent sur les lois de mise à l'échelle et les simulations dans les micro et nanosystèmes, fournissant un aperçu de la sensibilité et des performances de ces actionneurs thermiques.