Génération de plasma et gaine ionique dans la gravure

Cette séance de cours couvre les concepts théoriques de la génération de plasma, y compris la définition d'un plasma en tant que gaz ionisé avec des densités égales d'électrons et d'ions. Il explique le rôle de la puissance radiofréquence dans le maintien du plasma et de la gaine ionique dans le processus de gravure. L'instructeur discute de la tension de polarisation DC, du potentiel plasma et de l'épaisseur de la gaine ionique, soulignant l'importance de la conception de la zone d'électrode pour un bombardement ionique efficace sur la plaquette. La séance de cours se penche également sur le circuit électrique équivalent plasma et les considérations pour maximiser la gravure sur l'électrode inférieure tout en maintenant l'uniformité. Dans l'ensemble, la séance de cours fournit une compréhension complète du comportement du plasma dans les processus de micro et de nanofabrication.