Microcontact Impression: Lithographie à l'échelle nanométrique

Cette séance de cours de l'instructeur couvre la technique d'impression par microcontact (UCP) pour la lithographie à l'échelle nanométrique. Il explique le processus d'utilisation d'un tampon pour transférer des motifs sur des substrats, en soulignant les défis et les limites. La séance de cours aborde également la biostructuration et présente des exemples de timbres hybrides en couches pour une meilleure adaptation du substrat. En outre, il fournit un aperçu des méthodes de nano-fabrication existantes et à venir, y compris la lithographie au pochoir, et décrit les bases de la lithographie, de la lithographie par faisceau d'électrons, de la fabrication de faisceaux d'ions focalisés, de la lithographie par nano-empreinte et de la lithographie par sonde à balayage.