Lithographie : méthodes et importance

Cette séance de cours couvre la lithographie comme méthode d'impression sur des surfaces lisses, définissant des motifs sur des couches de polymère pour la fabrication de micro / nano. Il explique divers types de lithographie tels que optique, faisceau d'électrons, nano empreinte, et plus encore. L'importance de la lithographie dans l'établissement des caractéristiques minimales pouvant être transférées est soulignée. Les étapes impliquées dans la lithographie, y compris la préparation de la conception et du masque, la fabrication du masque, le revêtement, l'exposition, les propriétés de résistance, l'alignement et le développement, sont discutées. La séance de cours aborde également les principales questions liées à la lithographie.

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Séances de cours associées (5)

Concepts associés (22)

ME-426: Micro/Nanomechanical devices

In this course we will see an overview of the exciting field of Micro and Nanomechanical systems. We will go over the dfferent scaling laws that dominate the critical parameters, how size affects mat

Microfabrication

alt=Micro-sculpture - Microlight3D|vignette|La « plus petite sculpture du monde », micro-autoportrait de l'artiste plasticien Michel Paysant imprimé en 3D avec une machine utilisant la technique de polymérisation à deux photons. La microfabrication est l'ensemble des techniques de fabrication permettant de produire des dispositifs avec des structures de l'ordre du micromètre et en dessous.

Lithographie à faisceau d'électrons

L'utilisation d'un faisceau d'électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d'électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l'avantage de cette technique est qu'elle permet de repousser les limites de la diffraction de la lumière et de dessiner des motifs avec une résolution pouvant aller jusqu'au nanomètre. Cette forme de lithographie a trouvé diverses formes d'application dans la recherche et l'industrie des semi-conducteurs et dans ce qu'il est convenu d'appeler les nanotechnologies.

Photolithographie

La photolithographie est l'ensemble des opérations permettant de transférer une image (généralement présente sur un masque) vers un substrat. Cette technique est très utilisée dans l'industrie du semi-conducteur. Les motifs de l'image ainsi transférée deviendront par la suite les différentes zones des composants électroniques (exemple : contact, drain...) ou les jonctions entre ces composants.

Nanoimprint lithography

Nanoimprint lithography (NIL) is a method of fabricating nanometer scale patterns. It is a simple nanolithography process with low cost, high throughput and high resolution. It creates patterns by mechanical deformation of imprint resist and subsequent processes. The imprint resist is typically a monomer or polymer formulation that is cured by heat or UV light during the imprinting. Adhesion between the resist and the template is controlled to allow proper release.

Nanolithography

Nanolithography (NL) is a growing field of techniques within nanotechnology dealing with the engineering (patterning e.g. etching, depositing, writing, printing etc) of nanometer-scale structures on various materials. The modern term reflects on a design of structures built in range of 10−9 to 10−6 meters, i.e. nanometer scale. Essentially, the field is a derivative of lithography, only covering very small structures. All NL methods can be categorized into four groups: photo lithography, scanning lithography, soft lithography and other miscellaneous techniques.

Lithographie: Nanoscale Patterning Techniques MICRO-530: Nanotechnology

Explore les fondamentaux de la lithographie, les défis de la nanofabrication et les techniques de structuration avancées pour la production à haute résolution.

Lithographie à faisceau focalisé : E-Beam Basics MICRO-530: Nanotechnology

Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.

Lithographie : Fabrication étendue ME-426: Micro/Nanomechanical devices

Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.

Nanomanufacturation avancée : Lithographie et auto-assemblage

Déplacez-vous dans des techniques avancées de nanomanufacturing, y compris la lithographie et le copolymère bloc auto-assemblage pour la fabrication précise des appareils.

Lithographie de sonde de balayage thermique MICRO-530: Nanotechnology

Explore la lithographie par sonde thermique, la nanolithographie Dip-Pen, la mouillabilité de surface, la feuille de route de stockage des données et le concept Millipede.