Lithographie : méthodes et importance

Cette séance de cours couvre la lithographie comme méthode d'impression sur des surfaces lisses, définissant des motifs sur des couches de polymère pour la fabrication de micro / nano. Il explique divers types de lithographie tels que optique, faisceau d'électrons, nano empreinte, et plus encore. L'importance de la lithographie dans l'établissement des caractéristiques minimales pouvant être transférées est soulignée. Les étapes impliquées dans la lithographie, y compris la préparation de la conception et du masque, la fabrication du masque, le revêtement, l'exposition, les propriétés de résistance, l'alignement et le développement, sont discutées. La séance de cours aborde également les principales questions liées à la lithographie.