Techniques de profilage de surface

Cette séance de cours couvre les principes et les applications des techniques de profilage de surface, y compris le profilage de surface interférométrique en lumière blanche et le profilage de surface de faisceau laser. Il explique la configuration et le fonctionnement des interféromètres Mirau, les mesures bimorphes et les mesures de contraintes en couches minces. L'instructeur discute de la nature sans contact et non destructive de ces techniques, de leur haute résolution et de leur importance dans les processus de micro et de nanofabrication.