A Dual-Axis High Fill-Factor Micromirror Array for High Thermal Loads

Caglar Ataman, Dara Zaman Bayat, Nico de Rooij, Fabio Jutzi, Sébastien Lani, Wilfried Noell
Ieee Service Center, 445 Hoes Lane, Po Box 1331, Piscataway, Nj 08855-1331 Usa, 2011
Article de conférence

Résumé

A high fill-factor, dual-axis micromirror array with novel spring and actuator design is developed for high thermal load applications. Each pixel can attain an omnidirectional mechanical DC rotation angle of +/- 4 degrees.

Official source

https://infoscience.epfl.ch/record/178067?ln=fr

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