Publication
6 DOF repeatability measurement setup for measuring position of assembled silicon parts with nanometric resolution
Simon Nessim Henein, Florent Cosandier, François Barrot, Johannes Richard Cornelis Geerit Kruis, Pascal Gentsch
2015
Article de conférence
2015
Article de conférence
Résumé
This article presents a test setup dedicated to the measurement of the 6 degrees of freedom relative positioning assembly repeatability of three micro-manufactured parts equivalent to those composing a mesoscale flexure-based robot. The typical size of the parts is 20 x 20 x 0.5 mm. The parts are positioned with respect to each other by means of a novel alignment method that is under development. The required positioning repeatability is at least 100 nm in translation (x,y,z) and 17 μrad in the rotation (Rx, Ry and Rz). The test setup was realised and the first measurements results of the novel method of alignment are presented.
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Concepts associés (16)
Unité de mesure
En physique et en métrologie, une est une . Une unité de mesure peut être définie à partir de constantes fondamentales ou par un étalon, utilisé pour la mesure. Les systèmes d'unités, définis en cherchant le plus large accord dans le domaine considéré, sont rendus nécessaires par la méthode scientifique, dont l'un des fondements est la reproductibilité des expériences (donc des mesures), ainsi que par le développement des échanges d'informations commerciales ou industrielles.
Mesure physique
La mesure physique est l'action de déterminer la ou les valeurs d'une grandeur (longueur, capacité), par comparaison avec une grandeur constante de même espèce prise comme terme de référence (étalon ou unité). Selon la définition canonique : La mesure physique vise à l'objectivité et à la reproductibilité. La comparaison est numérique ; on exprime une caractéristique bien définie de l'objet par un nombre rationnel multipliant l'unité.
Incertitude de mesure
vignette|Mesurage avec une colonne de mesure. En métrologie, une incertitude de mesure liée à un mesurage (d'après le Bureau international des poids et mesures). Elle est considérée comme une dispersion et fait appel à des notions de statistique. Les causes de cette dispersion, liées à différents facteurs, influent sur le résultat de mesurage, donc sur l'incertitude et in fine sur la qualité de la mesure. Elle comprend de nombreuses composantes qui sont évaluées de deux façons différentes : certaines par une analyse statistique, d'autres par d'autres moyens.
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