Concept
Atomic layer deposition
Séances de cours associées (20)
Dépôt chimique en phase vapeur: formation d'oxyde et ALDMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les processus CVD pour la formation d'oxyde et ALD en micro et nanofabrication.
Dépôt de vapeur chimique: Films minces et oxydationMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore le dépôt chimique de vapeur, l'oxydation thermique et une étude de cas de micro-actuateur dans la micro et la nanofabrication.
Bases chimiques de dépôt de vapeurMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Introduit les bases du dépôt chimique en phase vapeur, couvrant le flux de gaz, la pression et la cinétique de croissance du film.
Stencil Lithographie: Nanometer Scale Patterning
Couvre la lithographie au pochoir pour la structuration à l'échelle nanométrique à haute résolution et ses avantages par rapport à la lithographie conventionnelle.
Gravure à sec: Techniques et équipementsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore diverses techniques de gravure sèche pour le silicium et l'équipement utilisé dans le processus, y compris les sources de plasma RF et les graveurs en phase vapeur HF.
Catalyse hétérogène: Catalyseurs MoS2
Explore l'analyse critique d'articles scientifiques et la conception de catalyseurs MoS2 pour les réactions d'évolution de l'hydrogène, en mettant l'accent sur la nanostructuration et la caractérisation des catalyseurs.
Inspection et métrologie : techniques de mesure des couches mincesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de mesure de couches minces dans les processus de micro et de nanofabrication, en comparant la réflectométrie et l'ellipsométrie pour la précision et la méthodologie.
Méthodes de Nano-Fabrication Vue d'ensemble
Explore la lithographie au pochoir, une technique de structuration directe à haute résolution, et ses applications sur les substrats flexibles, le stencilage dynamique et la biostructuration.
Matériel électronique à grande surface : Introduction
Couvre les matériaux électroniques de grande surface, y compris les composants TFT et OLED, la fabrication de films minces, les matériaux pour les applications de grande surface, et les défis dans la croissance de films minces.
Technologie de fabrication
Couvre l'intégration de processus dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris le processus à double puits, les méthodes d'isolation, l'ajustement de la tension de seuil et la formation de siliciure.