Explore la gravure anisotrope de films organiques et d'alliages d'Al, en mettant l'accent sur le rôle de Al2O3 dans la gravure d'Al et en présentant des exemples de procédés de gravure sèche.
Explore la création de photomasques, les méthodes d'exposition, l'écriture laser directe, la résolution et résiste au développement dans les applications MEMS.
Explore les principes fondamentaux et les processus pour les dispositifs photovoltaïques, y compris les impuretés dans le silicium polycristallin, les méthodes de croissance des lingots, le sciage des fils et l'impact des fissures sur la résistance des plaquettes.
Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.
