Lithographie : Concepts généraux et fabrication de masques

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Description

Cette séance de cours présente la lithographie en expliquant les concepts généraux et la fabrication de masques de lithographie à l'aide d'un outil laser à écriture directe. Il couvre la lithographie UV, la lithographie par faisceau d'électrons et les lithographies alternatives émergentes, soulignant l'importance de transférer des formes géométriques à un matériau sensible au rayonnement pour définir des régions de circuits intégrés.

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