Principe du SIMS

Cette séance de cours couvre le principe de la spectrométrie de masse par ions secondaires (SIMS), expliquant comment une surface est pulvérisée avec un faisceau d'ions primaires pour analyser les ions secondaires avec un spectromètre de masse. Les sujets abordés comprennent le spectre de masse, le profil de profondeur, les interférences de masse, les modes de fonctionnement, le rendement de pulvérisation cathodique, le rendement d'ionisation et des exemples d'applications SIMS.