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Séance de cours
Processus de fabrication du masque
Description
Cette séance de cours montre les étapes pratiques de la fabrication du masque pour la lithographie UV, à partir du chargement du blanc de masque dans l'écrivain laser, l'écriture du motif, le développement de la résine, la gravure du chrome et le décapage de la résine non exposée, le tout menant au masque final prêt pour la photolithographie UV.
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