Explore les bases de la lithographie, les méthodes émergentes de nanostructuration et les applications dans les puces microélectroniques haut de gamme.
Couvre les principes et les applications de la microscopie par sonde à balayage, y compris les principes de fonctionnement, les différents systèmes et les applications d'imagerie.
Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.
Explore les principes fondamentaux et les applications de la microscopie à sonde à balayage, y compris la configuration STM, la reconstruction de surface, le tunnel quantique et la microscopie à force de balayage.
Explore la lithographie au pochoir, les défis de nanostencil, le pochoir dynamique et les techniques de nanocoupe pour les matériaux 2D et les appareils électroniques.
Explore les forces, les pointes et les sondes utilisées dans la microscopie à sonde à balayage, en se concentrant sur les principes AFM, les limites de résolution des pointes et la fabrication de sondes en porte-à-faux.
Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.
