Cette séance de cours couvre les principes de la lithographie UV à l'aide d'un aligneur de masque à clips, mettant l'accent sur la lithographie à base de masques pour la micro et la nanofabrication. L'instructeur discute des techniques de photolithographie, des paramètres de l'équipement et des étapes de numérisation d'images.
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Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.
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Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
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