Cette séance de cours couvre les principes de la lithographie UV à l'aide d'un aligneur de masque à clips, mettant l'accent sur la lithographie à base de masques pour la micro et la nanofabrication. L'instructeur discute des techniques de photolithographie, des paramètres de l'équipement et des étapes de numérisation d'images.
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Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.
Explore les fondamentaux de la lithographie, les défis de la nanofabrication et les techniques de structuration avancées pour la production à haute résolution.
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
