Séance de cours
Cette séance de cours couvre des méthodes de lithographie alternatives telles que la lithographie par nanoimpression, la lithographie douce et la lithographie au pochoir. Il explique la préparation de l'empilement d'empreintes, le processus d'impression, la gravure de la couche résiduelle et les méthodes de réplication. Il traite également de la fabrication de nanofils à l'aide de la lithographie au pochoir et des détails de la lithographie au pochoir sur des surfaces exotiques.